Tel Tsk 系列
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Prober 系列
 
 
晶元尺寸容量
75mm、100mm、125mm、150mm (3 inch、4 inch、 5 inch、6 inch).

精度
0.25mil(64µm 含 X&Y.
0,0 參考點在首個晶元的中心模具處被教導。

測試機介面包裝
所有主要 ATE 廠家。
連網工作與測試機的溝通
標準介面
硬體 -RS232C, TTL( 平行 I/O).
GPIB(IEEE-488).
EG 協定加強版 ( 推介的 ).
選購的介面
乙太網路(TCP/IP 或 DECNET).



晶片規格

50mm(6in)、200mm(8in)

最大容量晶片
2001×:1晶舟,25片
精確度
>±0.35(±8.96um微米)includesX&Y
The0,0 reference point is taught on a center die of the first wafer.

系統要求
Input Power/ Air/ Vacuum:
Base Unit: AC115/230V? 1ψ 50/60Hz? 6A/3A
Air 75psi@2.3SCFM
Vacuum:23 in HG@3.0SCFM nom.
EG2080X AC115/230V ?1ψ50/60Hz? 6A/3A
Air: 75psi@2.3SCFM
Vacuum:23 in HG@3.0SCFM nom.
Note:All speciflcations are swbjeci to change without prior notificalion
整體大小-包括工作桌

EG2080X Base Unit
45.40”(115.3公分) 寬x 42.60” (108.2公分) 高x
32.00”(81.30公分) 深 , 重量約338.0Ibs (153.6公斤)
EG2080X Fully Auto
66.33”(168.5公分) 寬x 65.35” (166公分) 高x
32.6”(83公分) 深 , 重量約484.0Ibs (220公斤)