Tel Tsk 系列
Prober 系列
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Prober 系列
 
 
晶元尺寸容量
75mm、100mm、125mm、150mm (3 inch、4 inch、 5 inch、6 inch).

精度
0.25mil(64µm 含 X Y.
0,0 参考点在首个晶元的中心模具处被教导。

测试机介面包装
所有主要 ATE 厂家。
连网工作与测试机的沟通
标准介面
硬件 -RS232C, TTL( 平行 I/O).
GPIB(IEEE-488).
EG 协定加强版 ( 推介的 ).
选购的介面
乙太网络(TCP/IP 或 DECNET).




芯片规格

50mm(6in)、200mm(8in)

最大容量芯片
2001×:1晶舟,25片
精确度
>±0.35(±8.96um微米)includesX&Y
The0,0 reference point is taught on a center die of the first wafer.

系统要求
Input Power/ Air/ Vacuum:
Base Unit: AC115/230V? 1ψ 50/60Hz? 6A/3A
Air: 75psi@2.3SCFM
Vacuum: 23 in HG@3.0SCFM nom.
EG2080X? AC115/230V ?1ψ50/60Hz? 6A/3A
Air: 75psi@2.3SCFM
Vacuum: 23 in HG@3.0SCFM nom.
Note:All speciflcations are swbjeci to change without prior notificalion
整体大小-包括工作桌

EG2080X Base Unit 45.40”(115.3公分) 宽x 42.60” (108.2公分) 高x 32.00”(81.30公分) 深 , 重量約338.0Ibs (153.6公斤)
EG2080X Fully Auto 66.33”(168.5公分) 宽x 65.35” (166公分) 高x 32.6”(83公分) 深 , 重量約484.0Ibs (220公斤)