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Prober 系列 |
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| EG4090晶元處理 |
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自動晶元尺寸調整100mm", 150mm, 200mm(4", 5", 6",8")。 |
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1 卡匣25 或 26 槽 |
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輔助晶元盤 |
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快速單晶元插植及抽取 |
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交叉槽晶元偵測智慧型快速載入管線流閉環材料取卸 |
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| 精確度 |
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+-4 um(包括X,Y,θ及 Z的系統精確度)**
**可索取定義 |
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| XY 定位 |
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行程-19.80"(503mm) X,9.42 (239mm)Y |
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最大速度-10.0 in/sec(254.0mm/sec) |
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最大加速度: |
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- 標準組態-1.1G X 軸, 0.53GY 軸
- 高力量組態-0.88G X軸, 0.42G Y 軸
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解析度-0.01 mils(0.25um) |
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可重復性-0.01 mils(0.25um) |
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| Electroglas EG4080 晶元探測機，用於
4", 5", 6", 8", 晶元結合強大自動化系統軟體 |
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獨特的線性馬達原料處理系統可提供精確的動作。 |
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| 晶元尺寸容量 |
| 用於4",
5", 6", 8"晶元的自動晶元尺寸調整。 |
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| 精度 |
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落在0.2 mil(5um)以內。 在Electrogals
精度測試中，於10,8"晶元上放置所有模具都落在5um 理想的精度內
。0,0參考點在首個晶元的中心模具處被教導。 |
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| 測試機介面包裹 |
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所有主要ATE 廠家。機動化探測器卡或半自動探測器卡更換在某些測試機應用軟體上可行。 |
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