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Prober 系列 |
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| EG4090晶元处理 |
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自动晶元尺寸调整100mm", 150mm, 200mm(4", 5", 6",8") |
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1 卡匣25 或 26 槽 |
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辅助晶元盘 |
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快速单晶元插植及抽取 |
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交叉槽晶元侦测智慧型快速载入管线流闭环材料取卸 |
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| 精確度 |
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+-4um(包括X,Y, θ 及 Z的系统精确度)**
**可索取定义 |
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| XY 定位 |
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行程-19.80"(503mm) X,9.42 (239mm)Y |
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最大速度-10.0 in/sec(254.0mm/sec) |
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最大加速度: |
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- 标准组态-1.1G X 轴, 0.53GY 轴
- 高力量组态-0.88G X轴, 0.42G Y 轴
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解析度-0.01 mils(0.25um) |
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可重复性-0.01 mils(0.25um) |
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Electroglas EG4080 晶元探测机，用于
4", 5", 6", 8", 晶元结合强大自动化系统软件
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独特的线性马达原料处理系统可提供精确的动作。 |
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| 晶元尺寸容量 |
| 用于4",
5", 6", 8"晶元的自动晶元尺寸调整 |
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| 精度 |
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落在0.2 mil(5um)以内。 在Electrogals
精度测试中，于10,8"晶元上放置所有模具都落在5um 理想的精度内
。0,0参考点在首个晶元的中心模具处被教导。. |
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| 测试机介面包裹 |
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所有主要ATE 厂家。机动化探测器卡或半自动探测器卡更换在某些测试机应用软件上可行。 |
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