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| EG4090晶元处理 |
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自动晶元尺寸调整100mm", 150mm, 200mm(4", 5", 6",8") |
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1 卡匣25 或 26 槽 |
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辅助晶元盘 |
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快速单晶元插植及抽取 |
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交叉槽晶元侦测智慧型快速载入管线流闭环材料取卸 |
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| 精確度 |
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+_ um(包括X,Y, ψ 及 Z的系统精确度)**
**可索取定义 |
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| XY 定位 |
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行程-19.80"(503mm) X,9.42 (239mm)Y |
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最大速度-10.0 in/sec(254.0mm/sec) |
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最大加速度: |
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- 标准组态-1.1G X 轴, 0.53GY 轴
- 高力量组态-0.88G X轴, 0.42G Y 轴
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解析度-0.01 mils(0.25um) |
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可重复性-0.01 mils(0.25um) |
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