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基本單位:

EG2001 6” 自動晶圓探測
材質操作:
自動, 雙卡 4, 5, or 6” 封包.

環式運送:

標準 9.5” 環式運送.
環式輸入/ PROBE 卡式柄

PCH-RC1-70 - 70 Pin Probe 9.5”標準卡式柄(9-1/2"直徑環 , 卡式柄支持 4-1/2” 寬式卡 )
AUTOMATIC WAFER PROFILER 自動封包剖面

AWP-STD.  (無邊緣接觸感測器: 組合式懸臂影像擷取)

AUTO ALIGNMENT CAMERA自動排列像機:
Cohu Zoom CCD
Z-STAGE: Z式台

標準 PZ5 與 1/4 MIL 壂腳座
頂部按觸式:

CT-6 頂部按觸式 4,5, or 6” 封包.鍍金.

顯微鏡與照明:

SZ30 立體聲,變焦,可動式視覺纖維顯微鏡
 
 
   
 

基本單位:

EG4085 8” 自動晶圓探測
材質操作:
自動, 雙卡 - 5, 6, or 8” 封包.

環式運送:

標準 9.5” 環式運送.
環式輸入/ PROBE 卡式柄

PCH-RC1-70 - 70 Pin Probe 9.5”標準卡式柄(9-1/2"直徑環 , 卡式柄支持 4-1/2” 寬式卡 )
AUTOMATIC WAFER PROFILER 自動封包剖面

AWP-STD.  (無邊緣接觸感測器: 組合式懸臂影像擷取)

AUTO ALIGNMENT CAMERA自動排列像機:
Cohu Zoom CCD
Z-STAGE: Z式台

標準 PZ6 與 1/4 MIL 壂腳座
頂部按觸式:

CT-8 頂部按觸式 5, 6, or 8” 封包.鍍金.

顯微鏡與照明:

SZ30 立體聲,變焦, XYZ三相可動式視覺纖維顯微鏡
 

 

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