基本单位:
EG2001 6" 自动晶圆探测
环式运送:
PCH-RC1-70 - 70 Pin Probe 9.5"标准卡式柄(9-1/2"直径环 , 卡式柄支持 4-1/2" 宽式卡 )
AWP-STD. (无边缘接触感测器: 组合式悬臂影像撷取)
标准 PZ5 与 1/4 MIL 脚座
CT-6 顶部按触式 4, 5, or 6" 封包.镀金.
显微镜与照明:
SZ30 立体声,变焦, 可动式视觉纤维显微镜
EG4085 8" 自动晶圆探测
标准 PZ6 与 1/4 MIL 脚座
CT-8 顶部按触式 5, 6, or 8" 封包.镀金.
SZ30 立体声,变焦, XYZ三相可动式视觉纤维显微镜