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基本单位:

EG2001 6" 自动晶圆探测

材质操作:
自动, 双卡 - 4, 5, or 6" 封包.

环式运送:

标准 9.5" 环式运送.
环式输入 / PROBE 卡式柄

PCH-RC1-70 - 70 Pin Probe 9.5"标准卡式柄(9-1/2"直径环 , 卡式柄支持 4-1/2" 宽式卡 )

AUTOMATIC WAFER PROFILER 自动封包剖面

AWP-STD.  (无边缘接触感测器: 组合式悬臂影像撷取)

AUTO ALIGNMENT CAMERA自动排列像机:
Cohu Zoom CCD
Z-STAGE: Z式台

标准 PZ5 与 1/4 MIL 脚座

顶部按触式:

CT-6 顶部按触式 4, 5, or 6" 封包.镀金.

显微镜与照明:

SZ30 立体声,变焦, 可动式视觉纤维显微镜

 
 
   
 

基本单位:

EG4085 8" 自动晶圆探测

材质操作:
自动, 双卡 - 5, 6, or 8" 封包.

环式运送:

标准 9.5" 环式运送.
环式输入 / PROBE 卡式柄

PCH-RC1-70 - 70 Pin Probe 9.5"标准卡式柄(9-1/2"直径环 , 卡式柄支持 4-1/2" 宽式卡 )

AUTOMATIC WAFER PROFILER 自动封包剖面

AWP-STD.  (无边缘接触感测器: 组合式悬臂影像撷取)

AUTO ALIGNMENT CAMERA自动排列像机:
Cohu Zoom CCD
Z-STAGE: Z式台

标准 PZ6 与 1/4 MIL 脚座

顶部按触式:

CT-8 顶部按触式 5, 6, or 8" 封包.镀金.

显微镜与照明:

SZ30 立体声,变焦, XYZ三相可动式视觉纤维显微镜

 



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