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4080精度提升
 
XY 精度改善
● XY 級解析度-由 1um至 0.25um
● 加力器/捲筒馬達創新。
● 整體系統精度-從12 um 至 8 um 峰值到峰值。
● 紅點-微調後
● 藍點-微調前
 
  以下為一實際協助應用於 ASE 高雄 的範例....

 
微調前 32.9°c    
X Total Peak-Peak 4.751um
Y Total Peak-Peak 10.46um
X Linear 4.57ppm
Y Linear -3.77ppm
X Theta -1.63rad
Y Theta -17.34rad
PlatenT Avg. 32.9c
Chuck Temperature 88c
   
微調前 36.0 °c    
 
X Total Peak-Peak 8.49um
Y Total Peak-Peak 9.35um
X Linear 12.91ppm
Y Linear -0.74ppm
X Theta -4.54rad
Y Theta -19.64rad
PlatenT Avg. 36.0c
Chuck Temperature 88c
 

我門考慮到溫度條件. 以下圖顯示我門微調後的結果...

微調後 35.9°C    
X Total Peak-Peak 5.1um
Y Total Peak-Peak 6.73um
X Linear 3.45ppm
Y Linear -3.50ppm
X Theta 35.91rad
Y Theta 35.91rad
PlatenT Avg. 35.9c
Chuck Temperature 88c

   

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