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4080 精度提升

XY 精度改善
●	XY 级解析度-由 1um至 0.25um
●	加力器/卷筒马达创新。
●	整体系统精度-从12 um 至 8 um 峰值到峰值。

以下为一实际協助应用于 ASE高雄的范例....

微调前 32.9°c

X Total Peak-Peak	4.751um
Y Total Peak-Peak	10.46um
X Linear	4.57ppm
Y Linear	-3.77ppm
X Theta	-1.63rad
Y Theta	-17.34rad
PlatenT Avg.	32.9c
Chuck Temperature	88c

微调前 36.0°c

X Total Peak-Peak	8.49um
Y Total Peak-Peak	9.35um
X Linear	12.91ppm
Y Linear	-0.74ppm
X Theta	-4.54rad
Y Theta	-19.64rad
PlatenT Avg.	36.0c
Chuck Temperature	88c

我门考虑到温度条件.以下图示显示我门微调后的结果.

微調後 35.9°C

X Total Peak-Peak	5.1um
Y Total Peak-Peak	6.73um
X Linear	3.45ppm
Y Linear	-3.50ppm
X Theta	35.91rad
Y Theta	35.91rad
PlatenT Avg.	35.9c
Chuck Temperature	88c

1

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